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| CAS号 : | 7783-54-2 |
精确质量 : | 70.99830 |
| 分子式 : | F3N |
logP : | 0.94190 |
| 分子量 : | 71.00190 |
PSA : | 3.24000 |
三氟化氮 | |
nitrogen trifluoride | |
7783-54-2 | |
F3N | |
71.00190 | |
3.24000 | |
0.94190 | |
70.99830 |
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1.187
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无色气体
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库房通风低温干燥,轻装轻卸,与氢气、还原剂、油脂分开存放
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-129°C
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-207°C
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1.361 g/cm3
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insoluble
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2.2
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S17-S23-S38
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2451
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O
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R8
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2933990090
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2933990090. 其他仅含氮杂原子的杂环化合物. 增值税率:17.0%. 退税率:13.0%. 监管条件:无. 最惠国关税:6.5%. 普通关税:20.0% | |
2933990090. heterocyclic compounds with nitrogen hetero-atom(s) only. VAT:17.0%. Tax rebate rate:13.0%. . MFN tariff:6.5%. General tariff:20.0% |
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<p>在熔融氟铵酸存在下，采用氨直接氟化工艺，其反应式为：反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器，以及真空蒸馏，可分别除去各种杂质，最后用低温法收集得到NF3。</p> | |
<p>NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。用作高能燃料。</p> |
